瑞士半导体行业调平用WYLER电子水平仪
精度1um/m,型号:016R150-122-001是MINILEVEL NT和LEVELTRonIC NT型号的延伸,适用于小角度测量、平面测量、垂直度测量(直角式)、机床几何误差测量。全新的、密封且充满气体的感应部件采用高科技的电子和陶瓷作为基础材料,仪器的核心元件-传感器进一步的增强性能,使得仪器在湿度很大等恶劣工厂环境下仍可*的使用。
半导体行业调平用WYLER电子水平仪
精度1um/m,最近几年,型号有所变更,只要是厂家的升级换代,编号由016F150-122-001 到 016S150-122-001 到 016R150-122-001
由016F150-243-001 到 016S150-243-001 到 016R150-243-001
新款BLUELEVEL Ⅱ代电子水平仪,相比一代的蓝牙传输功能升级,更稳定
同个产品,只是编号有所改变,功能没有任何区别。
瑞士WYLER 新型二代蓝牙电子水平仪,型号:016R150-122-001主要特点:
反应腔室调平:确保等离子体均匀分布,避免刻蚀速率不均(如边缘与中心差异)。
晶圆承载台校准:双轴同步测量可优化承载台水平度,减少刻蚀偏差,提升良率。
CMP(化学机械抛光):抛光平台的水平度直接影响晶圆表面平坦度。
晶圆键合机:在 3D NAND 等堆叠工艺中,确保键合界面对准精度
半导体行业要求高,对于精度和稳定性以及准确性要求很高,WYLER bluelevel电子水平仪源自瑞士,质量可靠,获得了众多半导体行业客户的青睐,如ASML/上海微电子/村田半导体等。
CH-8405瑞士丹青WYLER BlueLevel电子水平仪技术参数:
测量面类型 | 平面型、V型直角型等底板可选 |
底板长度 | 110mm、150mm、200mm |
测量范围 | ±20mm/m ±100mm/m ±200mm/m |
分辨率 | 1um/m 5um/m 10um/m |
0.2角秒 1角秒 2角秒 | |
测量误差<.5全量程 (DIN2276) | 1%of当前测量值+小数显位 |
测量误差>.5全量程(DIN2276) | 1%of(2 X当前测量值-0.5X全量程 |
显示时间 | 约3秒 |
水平仪重量 | 约1200 |
控制器重量 | 约775 |
水平仪尺寸 | 150*45*150 |
控制器尺寸 | 140*100*15 |
输出端口 | RS-485 |