3D光学表面轮廓粗糙度仪非接触表面微观形貌(粗糙度)测量仪，系统采用TRIMOS技术数字全息三维显微测量技术(DHM)，广泛应用于高精密微观表面检查。与传统非接触测量技术相比，测量速度快，对震动不敏感，真正的实现三维形貌纳米级测量。3D光学表面轮廓粗糙度仪是模块化的设计理念，可配置共焦显微系统, 探针测量系统，传感器直接更换，方便快捷，极大的满足了不同的应用范围。即可用于计量单位和材料科学研发实验室，也广泛应用在工业制造领域：汽车、航天、航空、表面涂层、医疗产品、微型电机系统、半导体等行业。
　　3D光学表面轮廓粗糙度仪对各种产品和材料的表面平面度、粗糙度、波面性、面形轮廓、共面性、表面缺陷、研磨情况、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况等貌特征等进行测量和分析。标准型号的系统要求被测物体尺寸通常不大于150*100mm，更大的尺寸根据要求也可供货。工作台至大承载重量10Kg。
　　3D光学表面轮廓粗糙度仪可直接测量表面的峰顶-谷底的高度，适用于喷丸喷砂行业、印刷行业、喷涂防腐行业等表面粗糙度需求的行业使用，可测量表面轮廓和凹坑，只需要很小的测量面积。光学式表面粗糙度轮廓形貌仪大扫描速度可达到80mm/秒，每秒2000个数据点，每行可扫描20000个独立的数据点，垂直测量分辨率高可达到5nm，小测量范围0-110μm，大测量范围0-50mm。
　　3D光学表面轮廓粗糙度仪的操作较为简便，操作人员将工件放置在载物台上，调整载物台使被检测区域移动到物镜下方，调整Z轴高度，直至软件测量窗口出现干涉条纹，调节载物台上水平倾斜旋钮使视场内出现1~2个干涉条纹，点击按钮进行测量，光学物镜开始对器件表面进行扫描，软件实时获取图像并在扫描结束后重建出3D图像，操作者可在软件的分析界面中对图像进行处理，获取器件表面的线、面粗糙度、轮廓等2D、3D数据。