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TR-scan非接触式微观形貌测量仪

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所属分类:3D光学表面轮廓粗糙度仪
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瑞士 TRIMOS TR-scan非接触式微观形貌测量仪 ,全自动共焦三维测量。具有完善的分析功能模块,对其表面形貌进行轮廓、面积、体积、粗糙度、截面等测量。

TR-scan非接触式微观形貌测量仪的详细资料:



TR-scan非接触式微观形貌测量仪

Trimos TRscan非接触式刀具微观形貌测量仪,全自动共焦三维测量。专用于刀具制造工业,根据多点谱线共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自动聚焦,快速获得刀具表面三维形貌,采用此次多点谱线共焦传感器和图像处理系统,可以对各种复杂的刀刃及其模具进行准确的测量,具有完善的分析功能模块,对其表面形貌进行轮廓、面积、体积、粗糙度、截面等测量。

 

TR-scan非接触式微观形貌测量仪主要特点:

  • 强大的多点共焦技术,zui准确的测量出表面形貌数据(角度、半径、轮廓、粗糙度)

  • 通过光学方式测量Ra、Rq、Rz等粗糙度参数

  • 测量速度快,可整合成一个高效的在线测量系统

  • 适用于陡峭的斜面,爬坡角度高达85度

  • 垂直分辨率高达30nm

  • TRSCAN是*可同时获得表面形貌和真实颜色信息的3D测量设备,测量更加精确灵活

  • 通过脚本自动测量,更适用于批量测量,并生成图形或数字报告

  • 粗糙度和轮廓测量符合国际公认EN/ISO4287标准

  • 可用于选定区域的面积及体积计算

  • 可选配转台,实现三维扫面

  • 可用于复杂几何外形的形状分析,可测量角度、半径等表面特征

技术参数:

 

 工作台移动范围X 100mm
 工作台移动范围Y 固定式
 工作台移动范围Z 240mm
 XYZ轴zui小位移量0.1μm 
 XYZ轴定位精度 1μm
 XY轴导轨直线度 1.5μm
 工件zui大重量20kg 
 测量原理非接触式多点谱线共焦传感器 
 光源 白色LED共轴光,高强光,数字可控
 色谱共焦传感器 CLS0.2 CLS1 CLS4
 线宽 0.96mm 1.92mm 4.8mm
 工作距离 5.3mm18.2mm 39mm 
 光斑间隙5μm10μm 25μm 
 光斑大小 2μm4μm 10μm 
 爬坡坡度 ±44deg  ±33deg  ±20deg
 测量范围 200μm950μm 4mm 
 轴向分辨率30nm 120nm 500nm 
 精度 90nm360nm 1.5μm 
 厚度zui小分辨率15μm 70μm 300μm 
 测量zui大厚度300μm 1.5mm 6mm 


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